Laserkristallisiertes polykristallines Silizium - Wasserstoffbindungen und elektronische Eigenschaften
In dieser Arbeit wird laserkristallisiertes polykristallines Silizium (poly-Si) untersucht. Zwei Schwerpunkte stehen im Mittelpunkt der Arbeit: Die Bindungen von Wasserstoff (H), der sich nach der Kristallisation von hydrogenisiertem amorphem Silizium (a-Si:H) noch im Material be...
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1. Verfasser: | |
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Beteiligte: | |
Format: | Dissertation |
Sprache: | Deutsch |
Veröffentlicht: |
Philipps-Universität Marburg
2003
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Schlagworte: | |
Online-Zugang: | PDF-Volltext |
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