Laserkristallisiertes polykristallines Silizium - Wasserstoffbindungen und elektronische Eigenschaften

In dieser Arbeit wird laserkristallisiertes polykristallines Silizium (poly-Si) untersucht. Zwei Schwerpunkte stehen im Mittelpunkt der Arbeit: Die Bindungen von Wasserstoff (H), der sich nach der Kristallisation von hydrogenisiertem amorphem Silizium (a-Si:H) noch im Material be...

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Библиографические подробности
Главный автор: Brendel, Karsten
Другие авторы: Fuhs, Walther (Prof. Dr.) (Научный руководитель)
Формат: Dissertation
Язык:German
Опубликовано: Philipps-Universität Marburg 2003
Предметы:
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