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Laserkristallisiertes polykristallines Silizium - Wasserstoffbindungen und elektronische Eigenschaften
In dieser Arbeit wird laserkristallisiertes polykristallines Silizium (poly-Si) untersucht. Zwei Schwerpunkte stehen im Mittelpunkt der Arbeit: Die Bindungen von Wasserstoff (H), der sich nach der Kristallisation von hydrogenisiertem amorphem Silizium (a-Si:H) noch im Material be...
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| Автор: | |
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| Інші автори: | |
| Формат: | Dissertation |
| Мова: | German |
| Опубліковано: |
Philipps-Universität Marburg
2003
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| Предмети: | |
| Онлайн доступ: | PDF-повний текст |
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