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Laserkristallisiertes polykristallines Silizium - Wasserstoffbindungen und elektronische Eigenschaften
In dieser Arbeit wird laserkristallisiertes polykristallines Silizium (poly-Si) untersucht. Zwei Schwerpunkte stehen im Mittelpunkt der Arbeit: Die Bindungen von Wasserstoff (H), der sich nach der Kristallisation von hydrogenisiertem amorphem Silizium (a-Si:H) noch im Material be...
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| Autor principal: | |
|---|---|
| Outros Autores: | |
| Formato: | Dissertation |
| Idioma: | German |
| Publicado em: |
Philipps-Universität Marburg
2003
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| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | Texto integral em PDF |
| Tags: |
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