Laserkristallisiertes polykristallines Silizium - Wasserstoffbindungen und elektronische Eigenschaften

In dieser Arbeit wird laserkristallisiertes polykristallines Silizium (poly-Si) untersucht. Zwei Schwerpunkte stehen im Mittelpunkt der Arbeit: Die Bindungen von Wasserstoff (H), der sich nach der Kristallisation von hydrogenisiertem amorphem Silizium (a-Si:H) noch im Material be...

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Main Author: Brendel, Karsten
Contributors: Fuhs, Walther (Prof. Dr.) (Thesis advisor)
Format: Dissertation
Language:German
Published: Philipps-Universität Marburg 2003
Physik
Subjects:
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