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Laserkristallisiertes polykristallines Silizium - Wasserstoffbindungen und elektronische Eigenschaften
In dieser Arbeit wird laserkristallisiertes polykristallines Silizium (poly-Si) untersucht. Zwei Schwerpunkte stehen im Mittelpunkt der Arbeit: Die Bindungen von Wasserstoff (H), der sich nach der Kristallisation von hydrogenisiertem amorphem Silizium (a-Si:H) noch im Material be...
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| 其他作者: | |
| 格式: | Dissertation |
| 語言: | German |
| 出版: |
Philipps-Universität Marburg
2003
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| 主題: | |
| 在線閱讀: | PDF-Volltext |
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