Flüchtige, stickstoffreiche Metallverbindungen für die chemische Gasphasenabscheidung

In der vorliegenden Arbeit werden flüchtige Metallkomplexe als potentielle Präkursorenverbindungen fur die Abscheidung von metallischen Filmen aus der Gasphase entworfen, dargestellt und charakterisiert. Diese Beschichtungverfahren, chemische Gasphasenabscheidung (CVD) und Atomlagenabscheidung (ALD)...

Mô tả đầy đủ

Chi tiết về thư mục

Tác giả chính:	Lange, Alexander
Tác giả khác:	Sundermeyer, Jörg (Prof. Dr.) (Cố vấn luận án)
Định dạng:	Dissertation
Ngôn ngữ:	Tiếng Đức
Được phát hành:	Philipps-Universität Marburg 2024
Những chủ đề:	Chemie flüchtige Metallverbindungen volatile metallic compounds Metallorganik Ruthenium Stickstoffreiche Chelatliganden Chemistry & allied sciences
Truy cập trực tuyến:	Bài toàn văn PDF
Các nhãn:	Thêm thẻ Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!