Flüchtige, stickstoffreiche Metallverbindungen für die chemische Gasphasenabscheidung

In der vorliegenden Arbeit werden flüchtige Metallkomplexe als potentielle Präkursorenverbindungen fur die Abscheidung von metallischen Filmen aus der Gasphase entworfen, dargestellt und charakterisiert. Diese Beschichtungverfahren, chemische Gasphasenabscheidung (CVD) und Atomlagenabscheidung (ALD)...

Szczegółowa specyfikacja

Opis bibliograficzny

1. autor:	Lange, Alexander
Kolejni autorzy:	Sundermeyer, Jörg (Prof. Dr.) (Promotor doktoranta)
Format:	Dissertation
Język:	niemiecki
Wydane:	Philipps-Universität Marburg 2024
Hasła przedmiotowe:	Chemie flüchtige Metallverbindungen volatile metallic compounds Metallorganik Ruthenium Stickstoffreiche Chelatliganden Chemistry & allied sciences
Dostęp online:	PDF pełnotekstowe
Etykiety:	Dodaj etykietę Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!