Flüchtige, stickstoffreiche Metallverbindungen für die chemische Gasphasenabscheidung

In der vorliegenden Arbeit werden flüchtige Metallkomplexe als potentielle Präkursorenverbindungen fur die Abscheidung von metallischen Filmen aus der Gasphase entworfen, dargestellt und charakterisiert. Diese Beschichtungverfahren, chemische Gasphasenabscheidung (CVD) und Atomlagenabscheidung (ALD)...

Olles dieđut

Bibliográfalaš dieđut

Váldodahkki:	Lange, Alexander
Eará dahkkit:	Sundermeyer, Jörg (Prof. Dr.) (BetreuerIn (Doktorarbeit))
Materiálatiipa:	Dissertation
Giella:	duiskkagiella
Almmustuhtton:	Philipps-Universität Marburg 2024
Fáttát:	Chemie flüchtige Metallverbindungen volatile metallic compounds Metallorganik Ruthenium Stickstoffreiche Chelatliganden Chemistry & allied sciences
Liŋkkat:	PDF-ollesdeaksta
Fáddágilkorat:	Lasit fáddágilkoriid Eai fáddágilkorat, Lasit vuosttaš fáddágilkora!