1,4–Diazadiene Imido Complexes of Group V and VI Elements and Their Application in Chemical Vapour Deposition of TaN Films

The present work describes new perspectives in chemistry of 1,4-diaza-1,3-diene (R,R’–DAD) ligands. From the wide spectrum of described R,R’–DAD ligands 1,4-di-tert-butyl-1,4-diazabuta-1,3-diene (tBu,H–DAD or simply DAD) was chosen. This derivative has several advantages, namely, it is very simple t...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Merkoulov, Alexei
Beteiligte:	Sundermeyer, Jörg (Prof. Dr.) (BetreuerIn (Doktorarbeit))
Format:	Dissertation
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	Philipps-Universität Marburg 2006
Schlagworte:	DAD CVD-Verfahren Didynamic NMR Amide CVD Diazadiene Chemie DNMR-Spektroskopie Tantalkomplexe Wolframkomplexe Molybdänkomplexe Metal complexes Niobkomplexe Chromkomplexe Imide Chemistry & allied sciences
Online-Zugang:	PDF-Volltext
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