0500 Oau
1100 2006
2050 ##0##urn:nbn:de:hebis:04-z2006-01540
2051 ##0##10.17192/z2006.0154
3000 Merkoulov, Alexei
4000 1,4–Diazadiene Imido Complexes of Group V and VI Elements and Their Application in Chemical Vapour Deposition of TaN Films
4085 ##0##=s MB=u https://archiv.ub.uni-marburg.de/diss/z2006/0154=x H
5050 |540
5584 Didynamic NMR
5584 Diazadiene
5584 CVD
5584 CVD-Verfahren
5584 Amide
5584 Chemie
5584 DNMR-Spektroskopie
5584 Metal complexes
5584 Tantalkomplexe
5584 Wolframkomplexe
5584 Molybdänkomplexe
5584 Niobkomplexe
5584 Diazadiene
5584 Chromkomplexe
5584 Imide
5584 DAD
opus:1444