1,4–Diazadiene Imido Complexes of Group V and VI Elements and Their Application in Chemical Vapour Deposition of TaN Films

The present work describes new perspectives in chemistry of 1,4-diaza-1,3-diene (R,R’–DAD) ligands. From the wide spectrum of described R,R’–DAD ligands 1,4-di-tert-butyl-1,4-diazabuta-1,3-diene (tBu,H–DAD or simply DAD) was chosen. This derivative has several advantages, namely, it is very simple t...

תיאור מלא

שמור ב:
מידע ביבליוגרפי
מחבר ראשי: Merkoulov, Alexei
מחברים אחרים: Sundermeyer, Jörg (Prof. Dr.) (BetreuerIn (Doktorarbeit))
פורמט: Dissertation
שפה:אנגלית
יצא לאור: Philipps-Universität Marburg 2006
נושאים:
גישה מקוונת:PDF-Volltext
תגים: הוספת תג
אין תגיות, היה/י הראשונ/ה לתייג את הרשומה!