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Hydrazidoverbindungen des Niobs und Tantals im Kontext der Chemical Vapor Deposition von Refraktärmetallnitriden

Synthese und strukturelle sowie spektroskopische Charakterisierung von Hydrazido(1-)- und Hydrazido(2-)-Verbindungen des Niobs, Tantals, Molybdäns und Wolframs. Hierbei wurden Bis(hydrazido)-magnesiumverbindungen sowie gemischte Halogeno-hydrazido-magnesiumsalze, mono- und disilylierte Derivate des...

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Main Author: Gaess, Daniel
Contributors: Sundermeyer, Jörg (Prof. Dr.) (Thesis advisor)
Format: Doctoral Thesis
Language:German
Published: Philipps-Universität Marburg 2008
Subjects:
Destillation
Refractory metal nitrides
Diffusionsbarriere
Chemie
Ausgangsmaterial
Magnesium
Niob
Flüchtigkeit
Tantal
Refraktärmetallnitride
Hydrazido compounds
Cvd precursor
Diffusion barrier
Hydrazinderivate
Nitride
MOCVD-Verfahren
CVD-Prekursor
CVD-Verfahren
Hydrazidoverbindungen
Chemistry & allied sciences
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Description
Summary:Synthese und strukturelle sowie spektroskopische Charakterisierung von Hydrazido(1-)- und Hydrazido(2-)-Verbindungen des Niobs, Tantals, Molybdäns und Wolframs. Hierbei wurden Bis(hydrazido)-magnesiumverbindungen sowie gemischte Halogeno-hydrazido-magnesiumsalze, mono- und disilylierte Derivate des Dimethylhydrazins verwendet, um Hydrazidoliganden in Gruppe V und Gruppe VI Chloride und Imidokomplexe einzuführen. Die erhaltenen Verbindungen sind flüchtig und lassen sich als Prekursoren in der CVD von Refraktärmetallnitriden einsetzen. Einige dieser Verbindungen zeigen eine Liganddynamik, welche NMR-spektroskopisch verfolgt wurde.
Physical Description:222 Pages
DOI:10.17192/z2008.0152

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