On the mechanisms of hydrogen implantation induced silicon surface layer cleavage
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| Autor principal: | |
|---|---|
| Formato: | Dissertation |
| Idioma: | inglês |
| Publicado em: |
Philipps-Universität Marburg
2001
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| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | Texto integral em PDF |
| Tags: |
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