On the mechanisms of hydrogen implantation induced silicon surface layer cleavage
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Dissertation |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
Philipps-Universität Marburg
2001
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | PDF-Volltext |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| DOI: | 10.17192/z2002.0403 |
|---|