Methods and challenges in STEM composition determination of III/V semiconductors via complementary multislice simulations

Die erfolgreiche und kontinuierliche Verbesserung moderner Halbleiterbauelemente hängt wesentlich von der Fähigkeit ab, Materialeigenschaften so genau wie möglich beobachten und beschreiben zu können und dieses Verständnis als Grundlage für neue Entwicklungen nutzen zu können. Komplexe Halbleiterba...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Duschek, Lennart
Beteiligte:	Volz, Kerstin (Prof. Dr.) (BetreuerIn (Doktorarbeit))
Format:	Dissertation
Sprache:	Deutsch
Veröffentlicht:	Philipps-Universität Marburg 2019
Schlagworte:	Physik III/V Semicondcutor III/V Halbleiter Raster-Transmissions-Elektronenmikroskopie Scanning Transmission Electron Microscopy Kompositionsbestimmung Multislice Simulation Multislice Simulationen Composition Determination Physics
Online-Zugang:	PDF-Volltext
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