Methods and challenges in STEM composition determination of III/V semiconductors via complementary multislice simulations

Methods and challenges in STEM composition determination of III/V semiconductors via complementary multislice simulations

Die erfolgreiche und kontinuierliche Verbesserung moderner Halbleiterbauelemente hängt wesentlich von der Fähigkeit ab, Materialeigenschaften so genau wie möglich beobachten und beschreiben zu können und dieses Verständnis als Grundlage für neue Entwicklungen nutzen zu können. Komplexe Halbleiterba...

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Main Author: Duschek, Lennart
Contributors: Volz, Kerstin (Prof. Dr.) (Thesis advisor)
Format: Doctoral Thesis
Language:German
Published: Philipps-Universität Marburg 2019
Subjects:
III/V Semicondcutor
III/V Halbleiter
Multislice Simulationen
Kompositionsbestimmung
Scanning Transmission Electron Microscopy
Raster-Transmissions-Elektronenmikroskopie
Composition Determination
Multislice Simulation
Physik
Physics
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