Herstellung und elektronische Eigenschaften hydrogenierter amorpher Siliziumfilme, abgeschieden unter extremen Depositionsbedingungen
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1. Verfasser: | |
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Format: | Dissertation |
Sprache: | Deutsch |
Veröffentlicht: |
Philipps-Universität Marburg
2004
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Schlagworte: | |
Online-Zugang: | PDF-Volltext |
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