Flüchtige, stickstoffreiche Metallverbindungen für die chemische Gasphasenabscheidung
In der vorliegenden Arbeit werden flüchtige Metallkomplexe als potentielle Präkursorenverbindungen fur die Abscheidung von metallischen Filmen aus der Gasphase entworfen, dargestellt und charakterisiert. Diese Beschichtungverfahren, chemische Gasphasenabscheidung (CVD) und Atomlagenabscheidung (ALD)...
Kaydedildi:
| Yazar: | |
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| Diğer Yazarlar: | |
| Materyal Türü: | Dissertation |
| Dil: | Almanca |
| Baskı/Yayın Bilgisi: |
Philipps-Universität Marburg
2024
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| Konular: | |
| Online Erişim: | PDF Tam Metin |
| Etiketler: |
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Internet
PDF Tam Metin| Yer Numarası: |
urn:nbn:de:hebis:04-z2024-01096 |
|---|---|
| Yayın Tarihi: |
2024-10-30 |
| Datum der Annahme: |
2024-02-23 |
| Downloads: |
14 (2025), 10 (2024) |
| Lizenz: |
https://creativecommons.org/licenses/by-nd/4.0/ |
| Erişim Adresi URL: |
https://archiv.ub.uni-marburg.de/diss/z2024/0109 https://doi.org/10.17192/z2024.0109 |