Investigation of the Surface Reconstruction and Gas Phase Composition during Growth by MOVPE
Die metallorganische Gasphasenepitaxie (metal organic vapor phase epitaxy, MOVPE) hat eine wichtige Rolle als Herstellungsmethode der III-V-Halbleitermaterialien für optoelektronische Anwendungen inne. Dies beinhaltet unter anderem die Herstellung von Telekommunikationslasern, Leuchtdioden, hocheffi...
Tallennettuna:
Päätekijä: | |
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Muut tekijät: | |
Aineistotyyppi: | Dissertation |
Kieli: | saksa |
Julkaistu: |
Philipps-Universität Marburg
2021
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Aiheet: | |
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