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Methods and challenges in STEM composition determination of III/V semiconductors via complementary multislice simulations
Die erfolgreiche und kontinuierliche Verbesserung moderner Halbleiterbauelemente hängt wesentlich von der Fähigkeit ab, Materialeigenschaften so genau wie möglich beobachten und beschreiben zu können und dieses Verständnis als Grundlage für neue Entwicklungen nutzen zu können. Komplexe Halbleiterba...
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| Autor principal: | |
|---|---|
| Outros Autores: | |
| Formato: | Dissertation |
| Idioma: | alemão |
| Publicado em: |
Philipps-Universität Marburg
2019
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| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | Texto integral em PDF |
| Tags: |
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