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Methods and challenges in STEM composition determination of III/V semiconductors via complementary multislice simulations
Die erfolgreiche und kontinuierliche Verbesserung moderner Halbleiterbauelemente hängt wesentlich von der Fähigkeit ab, Materialeigenschaften so genau wie möglich beobachten und beschreiben zu können und dieses Verständnis als Grundlage für neue Entwicklungen nutzen zu können. Komplexe Halbleiterba...
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| Автор: | |
|---|---|
| Інші автори: | |
| Формат: | Dissertation |
| Мова: | German |
| Опубліковано: |
Philipps-Universität Marburg
2019
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| Предмети: | |
| Онлайн доступ: | PDF-повний текст |
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