Methods and challenges in STEM composition determination of III/V semiconductors via complementary multislice simulations

Methods and challenges in STEM composition determination of III/V semiconductors via complementary multislice simulations

Die erfolgreiche und kontinuierliche Verbesserung moderner Halbleiterbauelemente hängt wesentlich von der Fähigkeit ab, Materialeigenschaften so genau wie möglich beobachten und beschreiben zu können und dieses Verständnis als Grundlage für neue Entwicklungen nutzen zu können. Komplexe Halbleiterba...

Disgrifiad llawn

Wedi'i Gadw mewn:
Manylion Llyfryddiaeth
Prif Awdur: Duschek, Lennart
Awduron Eraill: Volz, Kerstin (Prof. Dr.) (Cynghorydd traethodau ymchwil)
Fformat: Dissertation
Iaith:Almaeneg
Cyhoeddwyd: Philipps-Universität Marburg 2019
Pynciau:
Physik
III/V Halbleiter
III/V Semicondcutor
Multislice Simulationen
Raster-Transmissions-Elektronenmikroskopie
Kompositionsbestimmung
Composition Determination
Multislice Simulation
Scanning Transmission Electron Microscopy
Physics
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