Beiträge zur Chemie flüchtiger Metallverbindungen für die chemische Gasphasenabscheidung: Hydrazin-basierte N-Donor-Liganden und neue Synthesestrategien
Im Rahmen dieser Arbeit wurden flüchtige Verbindungen als potentielle Präkursoren für die Anwendung in Verfahren der chemischen Gasphasenabscheidung zur Abscheidung der Elemente oder der Elementnitride untersucht. Die Verbindungen sollten aufgrund ihrer hohen Flüchtigkeit unzersetzt in die Gasphase...
Bewaard in:
Hoofdauteur: | |
---|---|
Andere auteurs: | |
Formaat: | Dissertation |
Taal: | German |
Gepubliceerd in: |
Philipps-Universität Marburg
2018
|
Onderwerpen: | |
Online toegang: | PDF Full text |
Tags: |
Voeg label toe
Geen labels, Wees de eerste die dit record labelt!
|
No references were found for this record.