Beiträge zur Chemie flüchtiger Metallverbindungen für die chemische Gasphasenabscheidung: Hydrazin-basierte N-Donor-Liganden und neue Synthesestrategien

Beiträge zur Chemie flüchtiger Metallverbindungen für die chemische Gasphasenabscheidung: Hydrazin-basierte N-Donor-Liganden und neue Synthesestrategien

Im Rahmen dieser Arbeit wurden flüchtige Verbindungen als potentielle Präkursoren für die Anwendung in Verfahren der chemischen Gasphasenabscheidung zur Abscheidung der Elemente oder der Elementnitride untersucht. Die Verbindungen sollten aufgrund ihrer hohen Flüchtigkeit unzersetzt in die Gasphase...

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Spremljeno u:
Bibliografski detalji
Glavni autor: Pulz, Susanne Elisa
Daljnji autori: Sundermeyer, Jörg (Prof. Dr.) (Savjetnik disertacije)
Format: Dissertation
Jezik:njemački
Izdano: Philipps-Universität Marburg 2018
Teme:
Precursor Molecules for Chemical Vapour Deposition Processes
Chemie
Metallverbindungen
etablierte Präkursoren
stickstoffreiche Liganden
Synthesestrategien
chemische Gasphasenabscheidung
Präkursoren für die chemische Gasphasenabscheidung
Chemistry & allied sciences
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