Beiträge zur Chemie flüchtiger Metallverbindungen für die chemische Gasphasenabscheidung: Hydrazin-basierte N-Donor-Liganden und neue Synthesestrategien

Im Rahmen dieser Arbeit wurden flüchtige Verbindungen als potentielle Präkursoren für die Anwendung in Verfahren der chemischen Gasphasenabscheidung zur Abscheidung der Elemente oder der Elementnitride untersucht. Die Verbindungen sollten aufgrund ihrer hohen Flüchtigkeit unzersetzt in die Gasphase...

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主要作者: Pulz, Susanne Elisa
其他作者: Sundermeyer, Jörg (Prof. Dr.) (BetreuerIn (Doktorarbeit))
格式: Dissertation
語言:德语
出版: Philipps-Universität Marburg 2018
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索引號: urn:nbn:de:hebis:04-z2019-00452
Publikationsdatum: 2021-08-09
Datum der Annahme: 2018-12-12
Downloads: 84 (2024), 195 (2023), 113 (2022), 18 (2021)
Lizenz: https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/4.0
Zugangs-URL: https://archiv.ub.uni-marburg.de/diss/z2019/0045
https://doi.org/10.17192/z2019.0045