Beiträge zur Chemie flüchtiger Metallverbindungen für die chemische Gasphasenabscheidung: Hydrazin-basierte N-Donor-Liganden und neue Synthesestrategien

Beiträge zur Chemie flüchtiger Metallverbindungen für die chemische Gasphasenabscheidung: Hydrazin-basierte N-Donor-Liganden und neue Synthesestrategien

Im Rahmen dieser Arbeit wurden flüchtige Verbindungen als potentielle Präkursoren für die Anwendung in Verfahren der chemischen Gasphasenabscheidung zur Abscheidung der Elemente oder der Elementnitride untersucht. Die Verbindungen sollten aufgrund ihrer hohen Flüchtigkeit unzersetzt in die Gasphase...

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Main Author: Pulz, Susanne Elisa
Contributors: Sundermeyer, Jörg (Prof. Dr.) (Thesis advisor)
Format: Doctoral Thesis
Language:German
Published: Philipps-Universität Marburg 2018
Subjects:
Precursor Molecules for Chemical Vapour Deposition Processes
Chemie
Metallverbindungen
etablierte Präkursoren
stickstoffreiche Liganden
Synthesestrategien
chemische Gasphasenabscheidung
Präkursoren für die chemische Gasphasenabscheidung
Chemistry & allied sciences
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Call Number: urn:nbn:de:hebis:04-z2019-00452
Publication Date: 2021-08-09
Date of Acceptance: 2018-12-12
Downloads: 82 (2024), 195 (2023), 113 (2022), 18 (2021)
License: https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/4.0
Access URL: https://archiv.ub.uni-marburg.de/diss/z2019/0045
https://doi.org/10.17192/z2019.0045

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