Structural characterization of antimonide-based metamorphic buffer layers on (001) silicon substrate

The aim of the present study was the growth of antimony-based buffer layers with the lattice constant of InP on a GaP/Si pseudosubstrate by metal organic vapor phase epitaxy (MOVPE) and their structural investigation by atomic force microscopy (AFM), X-ray diffraction (XRD), and (scanning) transmiss...

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Autore principale: Ott, Andrea
Altri autori: Volz, Kerstin (Prof. Dr.) (Relatore della tesi)
Natura: Dissertation
Lingua:inglese
Pubblicazione: Philipps-Universität Marburg 2017
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