On the mechanisms of hydrogen implantation induced silicon surface layer cleavage
Bewaard in:
Hoofdauteur: | |
---|---|
Formaat: | Dissertation |
Taal: | Engels |
Gepubliceerd in: |
Philipps-Universität Marburg
2001
|
Onderwerpen: | |
Online toegang: | PDF Full text |
Tags: |
Voeg label toe
Geen labels, Wees de eerste die dit record labelt!
|
DOI: | 10.17192/z2002.0403 |
---|