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Investigation of the Surface Reconstruction and Gas Phase Composition during Growth by MOVPE
Die metallorganische Gasphasenepitaxie (metal organic vapor phase epitaxy, MOVPE) hat eine wichtige Rolle als Herstellungsmethode der III-V-Halbleitermaterialien für optoelektronische Anwendungen inne. Dies beinhaltet unter anderem die Herstellung von Telekommunikationslasern, Leuchtdioden, hocheffi...
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| 格式: | Dissertation |
| 语言: | German |
| 出版: |
Philipps-Universität Marburg
2021
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| 在线阅读: | PDF-Volltext |
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