Investigation of the Surface Reconstruction and Gas Phase Composition during Growth by MOVPE

Investigation of the Surface Reconstruction and Gas Phase Composition during Growth by MOVPE

Die metallorganische Gasphasenepitaxie (metal organic vapor phase epitaxy, MOVPE) hat eine wichtige Rolle als Herstellungsmethode der III-V-Halbleitermaterialien für optoelektronische Anwendungen inne. Dies beinhaltet unter anderem die Herstellung von Telekommunikationslasern, Leuchtdioden, hocheffi...

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Autore principale: Maßmeyer, Oliver Peter
Altri autori: Volz, Kerstin (Prof. Dr.) (Relatore della tesi)
Natura: Dissertation
Lingua:German
Pubblicazione: Philipps-Universität Marburg 2021
Soggetti:
decomp
reflection anisotropy spectroscopy
mass spectrometry
metallorganische Gasphasenepitaxie
metallorganische Präkusoren
MOCVD
Zerlegung
Physik
Gasphasenzusammensetzung
semiconductor physics
Metallorganic CVD
MOVPE
Oberflächenrekonstruktion
Halbleiterphysik
surface reconstruction
gas phase composition
RAS
Reflektionsanisotropiespektrosko
Massenspektrometrie
Physics
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