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Investigation of the Surface Reconstruction and Gas Phase Composition during Growth by MOVPE
Die metallorganische Gasphasenepitaxie (metal organic vapor phase epitaxy, MOVPE) hat eine wichtige Rolle als Herstellungsmethode der III-V-Halbleitermaterialien für optoelektronische Anwendungen inne. Dies beinhaltet unter anderem die Herstellung von Telekommunikationslasern, Leuchtdioden, hocheffi...
Gespeichert in:
| Hovedforfatter: | |
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| Andre forfattere: | |
| Format: | Dissertation |
| Sprog: | German |
| Udgivet: |
Philipps-Universität Marburg
2021
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| Fag: | |
| Online adgang: | PDF-Volltext |
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