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Methods and challenges in STEM composition determination of III/V semiconductors via complementary multislice simulations
Die erfolgreiche und kontinuierliche Verbesserung moderner Halbleiterbauelemente hängt wesentlich von der Fähigkeit ab, Materialeigenschaften so genau wie möglich beobachten und beschreiben zu können und dieses Verständnis als Grundlage für neue Entwicklungen nutzen zu können. Komplexe Halbleiterba...
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| Главный автор: | |
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| Формат: | Dissertation |
| Язык: | German |
| Опубликовано: |
Philipps-Universität Marburg
2019
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| Предметы: | |
| Online-ссылка: | PDF-полный текст |
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