Quantitative Scanning Transmission Electron Microscopy for III-V Semiconductor Heterostructures Utilizing Multi-Slice Image Simulations
Quantitative STEM can satisfy the demand of modern semiconductor device development for atomically resolved structural information. Thereby, quantitative evaluations can be based on STEM intensities only, a combination of STEM intensities with different methods or a comparison of STEM intensities to...
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1. Verfasser: | |
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Beteiligte: | |
Format: | Dissertation |
Sprache: | Englisch |
Veröffentlicht: |
Philipps-Universität Marburg
2019
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Schlagworte: | |
Online Zugang: | PDF-Volltext |
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