Beiträge zur Chemie flüchtiger Metallverbindungen für die chemische Gasphasenabscheidung: Hydrazin-basierte N-Donor-Liganden und neue Synthesestrategien

Im Rahmen dieser Arbeit wurden flüchtige Verbindungen als potentielle Präkursoren für die Anwendung in Verfahren der chemischen Gasphasenabscheidung zur Abscheidung der Elemente oder der Elementnitride untersucht. Die Verbindungen sollten aufgrund ihrer hohen Flüchtigkeit unzersetzt in die Gasphase...

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Библиографические подробности
Главный автор: Pulz, Susanne Elisa
Другие авторы: Sundermeyer, Jörg (Prof. Dr.) (Научный руководитель)
Формат: Dissertation
Язык:немецкий
Опубликовано: Philipps-Universität Marburg 2018
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