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Beiträge zur Chemie flüchtiger Metallverbindungen für die chemische Gasphasenabscheidung: Hydrazin-basierte N-Donor-Liganden und neue Synthesestrategien
Im Rahmen dieser Arbeit wurden flüchtige Verbindungen als potentielle Präkursoren für die Anwendung in Verfahren der chemischen Gasphasenabscheidung zur Abscheidung der Elemente oder der Elementnitride untersucht. Die Verbindungen sollten aufgrund ihrer hohen Flüchtigkeit unzersetzt in die Gasphase...
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| מחבר ראשי: | |
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| פורמט: | Dissertation |
| שפה: | גרמנית |
| יצא לאור: |
Philipps-Universität Marburg
2018
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| נושאים: | |
| גישה מקוונת: | PDF-Volltext |
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