Beiträge zur Chemie flüchtiger Metallverbindungen für die chemische Gasphasenabscheidung: Hydrazin-basierte N-Donor-Liganden und neue Synthesestrategien

Im Rahmen dieser Arbeit wurden flüchtige Verbindungen als potentielle Präkursoren für die Anwendung in Verfahren der chemischen Gasphasenabscheidung zur Abscheidung der Elemente oder der Elementnitride untersucht. Die Verbindungen sollten aufgrund ihrer hohen Flüchtigkeit unzersetzt in die Gasphase...

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Κύριος συγγραφέας: Pulz, Susanne Elisa
Άλλοι συγγραφείς: Sundermeyer, Jörg (Prof. Dr.) (Εισηγητής διατριβής)
Μορφή: Dissertation
Γλώσσα:Γερμανικά
Έκδοση: Philipps-Universität Marburg 2018
Θέματα:
Διαθέσιμο Online:Πλήρες κείμενο PDF
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