Defekte in epitaktisch gewachsenen Silizium-Schichten (Niedertemperaturepitaxie)
Gegenstand der Arbeit ist die Analyse von Defekten in Silizium Schichten, die mit Elektronenzyklotronresonanz unterstützter Gasphasenabscheidung ("electron cyclotron resonance chemical vapour deposition", ECRCVD) bei Substrattemperaturen unterhalb 600°C deponiert wurden. Untersucht wurde e...
שמור ב:
מחבר ראשי: | |
---|---|
מחברים אחרים: | |
פורמט: | Dissertation |
שפה: | גרמנית |
יצא לאור: |
Philipps-Universität Marburg
2006
|
נושאים: | |
גישה מקוונת: | PDF-Volltext |
תגים: |
הוספת תג
אין תגיות, היה/י הראשונ/ה לתייג את הרשומה!
|
אינטרנט
PDF-Volltextסימן המיקום: |
urn:nbn:de:hebis:04-z2006-00957 |
---|---|
Publikationsdatum: |
2006-04-11 |
Datum der Annahme: |
2006-01-30 |
Downloads: |
26 (2024), 53 (2023), 57 (2022), 17 (2021), 15 (2020), 19 (2019), 10 (2018) |
Lizenz: |
https://rightsstatements.org/vocab/InC-NC/1.0/ |
Zugangs-URL: |
https://archiv.ub.uni-marburg.de/diss/z2006/0095 https://doi.org/10.17192/z2006.0095 |