On the mechanisms of hydrogen implantation induced silicon surface layer cleavage
Sparad:
Huvudupphovsman: | |
---|---|
Materialtyp: | Dissertation |
Språk: | engelska |
Publicerad: |
Philipps-Universität Marburg
2001
|
Ämnen: | |
Länkar: | PDF-fulltext |
Taggar: |
Lägg till en tagg
Inga taggar, Lägg till första taggen!
|
DOI: | 10.17192/z2002.0403 |
---|