Methods and challenges in STEM composition determination of III/V semiconductors via complementary multislice simulations

Die erfolgreiche und kontinuierliche Verbesserung moderner Halbleiterbauelemente hängt wesentlich von der Fähigkeit ab, Materialeigenschaften so genau wie möglich beobachten und beschreiben zu können und dieses Verständnis als Grundlage für neue Entwicklungen nutzen zu können. Komplexe Halbleiterba...

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Bibliografski detalji
Glavni autor: Duschek, Lennart
Daljnji autori: Volz, Kerstin (Prof. Dr.) (Savjetnik disertacije)
Format: Dissertation
Jezik:njemački
Izdano: Philipps-Universität Marburg 2019
Teme:
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