Methods and challenges in STEM composition determination of III/V semiconductors via complementary multislice simulations
Die erfolgreiche und kontinuierliche Verbesserung moderner Halbleiterbauelemente hängt wesentlich von der Fähigkeit ab, Materialeigenschaften so genau wie möglich beobachten und beschreiben zu können und dieses Verständnis als Grundlage für neue Entwicklungen nutzen zu können. Komplexe Halbleiterba...
Spremljeno u:
Glavni autor: | |
---|---|
Daljnji autori: | |
Format: | Dissertation |
Jezik: | njemački |
Izdano: |
Philipps-Universität Marburg
2019
|
Teme: | |
Online pristup: | PDF cijeli tekst |
Oznake: |
Dodaj oznaku
Bez oznaka, Budi prvi tko označuje ovaj zapis!
|
Budi prvi tko komentira!