Methods and challenges in STEM composition determination of III/V semiconductors via complementary multislice simulations

Die erfolgreiche und kontinuierliche Verbesserung moderner Halbleiterbauelemente hängt wesentlich von der Fähigkeit ab, Materialeigenschaften so genau wie möglich beobachten und beschreiben zu können und dieses Verständnis als Grundlage für neue Entwicklungen nutzen zu können. Komplexe Halbleiterba...

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Detalles Bibliográficos
Autor Principal: Duschek, Lennart
Outros autores: Volz, Kerstin (Prof. Dr.) (BetreuerIn (Doktorarbeit))
Formato: Dissertation
Idioma:alemán
Publicado: Philipps-Universität Marburg 2019
Schlagworte:
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