Methods and challenges in STEM composition determination of III/V semiconductors via complementary multislice simulations

Die erfolgreiche und kontinuierliche Verbesserung moderner Halbleiterbauelemente hängt wesentlich von der Fähigkeit ab, Materialeigenschaften so genau wie möglich beobachten und beschreiben zu können und dieses Verständnis als Grundlage für neue Entwicklungen nutzen zu können. Komplexe Halbleiterba...

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التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي: Duschek, Lennart
مؤلفون آخرون: Volz, Kerstin (Prof. Dr.) (مرشد الأطروحة)
التنسيق: Dissertation
اللغة:الألمانية
منشور في: Philipps-Universität Marburg 2019
الموضوعات:
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