Lösungsprozessierbare Silazanpräkursoren für Gate-Dielektrika
In der heutigen Displayindustrie werden Transistoren verbaut, deren dielektrische Schichten über energieaufwendige Prozesse wie CVD oder thermische Oxidation hergestellt werden. Alternativ zu den energieaufwendigen Prozessen lassen sich dielektrische Schichten auch über wirtschaftlichere Lösungsproz...
Gespeichert in:
主要作者: | |
---|---|
其他作者: | |
格式: | Dissertation |
語言: | 德语 |
出版: |
Philipps-Universität Marburg
2016
|
主題: | |
在線閱讀: | PDF-Volltext |
標簽: |
添加標簽
沒有標簽, 成為第一個標記此記錄!
|
成為第一個發表評論!