Publikationsserver
Lösungsprozessierbare Silazanpräkursoren für Gate-Dielektrika
In der heutigen Displayindustrie werden Transistoren verbaut, deren dielektrische Schichten über energieaufwendige Prozesse wie CVD oder thermische Oxidation hergestellt werden. Alternativ zu den energieaufwendigen Prozessen lassen sich dielektrische Schichten auch über wirtschaftlichere Lösungsproz...
Bewaard in:
| Hoofdauteur: | |
|---|---|
| Andere auteurs: | |
| Formaat: | Dissertation |
| Taal: | Duits |
| Gepubliceerd in: |
Philipps-Universität Marburg
2016
|
| Onderwerpen: | |
| Online toegang: | PDF Full text |
| Tags: |
Voeg label toe
Geen labels, Wees de eerste die dit record labelt!
|
Wees de eerste die reageert!