Publikationsserver
Lösungsprozessierbare Silazanpräkursoren für Gate-Dielektrika
In der heutigen Displayindustrie werden Transistoren verbaut, deren dielektrische Schichten über energieaufwendige Prozesse wie CVD oder thermische Oxidation hergestellt werden. Alternativ zu den energieaufwendigen Prozessen lassen sich dielektrische Schichten auch über wirtschaftlichere Lösungsproz...
में बचाया:
| मुख्य लेखक: | |
|---|---|
| अन्य लेखक: | |
| स्वरूप: | Dissertation |
| भाषा: | जर्मन |
| प्रकाशित: |
Philipps-Universität Marburg
2016
|
| विषय: | |
| ऑनलाइन पहुंच: | पीडीएफ पूर्ण पाठ |
| टैग: |
टैग जोड़ें
कोई टैग नहीं, इस रिकॉर्ड को टैग करने वाले पहले व्यक्ति बनें!
|
टिप्पणी देने वाले पहले व्यक्ति बनें!