1,4–Diazadiene Imido Complexes of Group V and VI Elements and Their Application in Chemical Vapour Deposition of TaN Films

1,4–Diazadiene Imido Complexes of Group V and VI Elements and Their Application in Chemical Vapour Deposition of TaN Films

The present work describes new perspectives in chemistry of 1,4-diaza-1,3-diene (R,R’–DAD) ligands. From the wide spectrum of described R,R’–DAD ligands 1,4-di-tert-butyl-1,4-diazabuta-1,3-diene (tBu,H–DAD or simply DAD) was chosen. This derivative has several advantages, namely, it is very simple t...

Szczegółowa specyfikacja

Zapisane w:
Opis bibliograficzny
1. autor: Merkoulov, Alexei
Kolejni autorzy: Sundermeyer, Jörg (Prof. Dr.) (Promotor doktoranta)
Format: Dissertation
Język:angielski
Wydane: Philipps-Universität Marburg 2006
Hasła przedmiotowe:
DAD
CVD-Verfahren
Amide
Chemie
CVD
DNMR-Spektroskopie
Diazadiene
Tantalkomplexe
Wolframkomplexe
Molybdänkomplexe
Niobkomplexe
Chromkomplexe
Imide
Metal complexes
Didynamic NMR
Chemistry & allied sciences
Dostęp online:PDF pełnotekstowe
Etykiety: Dodaj etykietę
Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!
No references were found for this record.

Podobne zapisy