Defekte in epitaktisch gewachsenen Silizium-Schichten (Niedertemperaturepitaxie)

Defekte in epitaktisch gewachsenen Silizium-Schichten (Niedertemperaturepitaxie)

Gegenstand der Arbeit ist die Analyse von Defekten in Silizium Schichten, die mit Elektronenzyklotronresonanz unterstützter Gasphasenabscheidung ("electron cyclotron resonance chemical vapour deposition", ECRCVD) bei Substrattemperaturen unterhalb 600°C deponiert wurden. Untersucht wurde e...

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Auteur principal: Petter, Kai
Autres auteurs: Fuhs, Walther (Prof.) (Directeur de thèse)
Format: Dissertation
Langue:allemand
Publié: Philipps-Universität Marburg 2006
Sujets:
Physik
Halbleiter / Gitterbaufehler
Defects
Epitaxy
Epitaxieschicht
Silicium
Silicon
Physics
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Informations d'exemplaires de
Cote: urn:nbn:de:hebis:04-z2006-00957
Date de publication: 2006-04-11
Datum der Annahme: 2006-01-30
Downloads: 29 (2024), 53 (2023), 57 (2022), 17 (2021), 15 (2020), 19 (2019), 10 (2018)
Lizenz: https://rightsstatements.org/vocab/InC-NC/1.0/
URL d'accès: https://archiv.ub.uni-marburg.de/diss/z2006/0095
https://doi.org/10.17192/z2006.0095

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