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On the mechanisms of hydrogen implantation induced silicon surface layer cleavage
Gardado en:
| Autor Principal: | |
|---|---|
| Formato: | Dissertation |
| Idioma: | inglés |
| Publicado: |
Philipps-Universität Marburg
2001
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| Schlagworte: | |
| Acceso en liña: | Texto completo PDF |
| Tags: |
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