On the mechanisms of hydrogen implantation induced silicon surface layer cleavage

Gespeichert in:
Bibliografiske detaljer
Hovedforfatter: Höchbauer, Tobias
Format: Dissertation
Sprog:engelsk
Udgivet: Philipps-Universität Marburg 2001
Fag:
Online adgang:PDF-Volltext
Tags: Tilføj Tag
Ingen Tags, Vær først til at tagge denne postø!