Flüchtige, stickstoffreiche Metallverbindungen für die chemische Gasphasenabscheidung
In der vorliegenden Arbeit werden flüchtige Metallkomplexe als potentielle Präkursorenverbindungen fur die Abscheidung von metallischen Filmen aus der Gasphase entworfen, dargestellt und charakterisiert. Diese Beschichtungverfahren, chemische Gasphasenabscheidung (CVD) und Atomlagenabscheidung (ALD)...
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Main Author: | |
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Contributors: | |
Format: | Doctoral Thesis |
Language: | German |
Published: |
Philipps-Universität Marburg
2024
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Subjects: | |
Online Access: | PDF Full Text |
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Internet
PDF Full TextCall Number: |
urn:nbn:de:hebis:04-z2024-01096 |
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Publication Date: |
2024-10-30 |
Date of Acceptance: |
2024-02-23 |
Downloads: |
8 (2025), 10 (2024) |
License: |
https://creativecommons.org/licenses/by-nd/4.0/ |
Access URL: |
https://archiv.ub.uni-marburg.de/diss/z2024/0109 https://doi.org/10.17192/z2024.0109 |